作者:方波,邹鲲,孟晶,顾颖佳,毛剑锋 单位:中国机械工程学会;广州机械科学研究院 出版:《机床与液压》2012年第18期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJCYY2012180070 DOC编号:DOCJCYY2012180079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 针对大平面度测量,设计一种新的平面度测量系统,该系统摒弃了高精度大平面度测量所需要的高精度导轨、高精度光学平面等,而是以液面作为一个平面基准,用干涉仪标定出测量系统的系统误差,然后用接触式传感器测量被测件,再进行误差分离,将系统误差从测量误差中分离出去,从而达到对大平面度的高精度测量。

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