作者：杨妹清 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《光机电信息》1994年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJDX1994020000 DOC编号：DOCGJDX1994020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《大量程纳米位移传感器的微纳加工制造》PDF+DOC2015年第10期 许卓,杨杰,王成,陈东红,丑修建 《纳米时栅传感器高精度激励信号源研究与设计》PDF+DOC2015年第07期 黄沛,郑方燕,冯济琴,陈自然 《高精度电容式位移传感器校准方法的研究》PDF+DOC2015年第01期 郑志月,施玉书,高思田,李东升,李伟,李适,李庆贤 《超精密运动定位系统研究》PDF+DOC2018年第10期 王慧锋 《提高镗孔精度的在线误差补偿法》PDF+DOC1998年第09期 高栋,袁哲俊,赵伟明,林发荣 《探索纳米、皮米、飞米超精密传感器》PDF+DOC1996年第02期 阎永志 《高精度光学表面传感器》PDF+DOC1990年第03期 Tsuguo Kohno,马素琳 《纳米级电容测微系统的研究》PDF+DOC2005年第11期 于永新,周涛,郑义忠 《超精密纳米时栅传感器试验系统设计》PDF+DOC2014年第06期 周启武,凌旭 《基于虚拟仪器技术的纳米时栅传感器实验研究》PDF+DOC2013年第12期 凌旭,王先全,冯济琴,蒲红吉

    • 1.前言 面对21世纪，许多领域有关“超”技术的研究、产品开发活动尤为兴盛。与精密工程学会相关的领域有人们日常所说的超精密、超微细等。此外，有超高真空、超净室、超纯水、超微粒子、超高层楼、超LSI等。最近，日本年轻人当中流行“超疲劳”、“超美味”之说。

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