作者：杨宜民,林汉荣 单位：广东工业大学 出版：《广东工业大学学报》1993年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGX1993030210 DOC编号：DOCGDGX1993030219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械及其研究》PDF+DOC1993年第03期 徐锡林 《小材可大用,2019微型机器人集体迎春!》PDF+DOC2019年第15期 《微电子机械系统及其应用》PDF+DOC1996年第06期 陈佳品,吴智政 《第十讲 机电一体化技术展望》PDF+DOC1996年第10期 万遇良 《微型机械及其发展》PDF+DOC1993年第04期 周兆英,叶雄英,李勇,江小宁 《智能机器人的研究》PDF+DOC2003年第Z1期 王宇龙,熊继军,张文栋 《微机电系统在当代医学上的应用》PDF+DOC2002年第02期 姚燕生,沈健,吕召全 《微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究》PDF+DOC2002年第08期 徐小云 ,颜国正 ,丁国清 《微机械制造技术及应用》PDF+DOC2002年第09期 于云霞,贾宝贤,陆富荣 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC2015年第19期 冯帆

    • 本文综述微机电系统(MEMS)的研究背景、含义、意义、现状及应用前景，并提出我国发展MEMS研究的策略。

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