作者：刘付德,梁子南 单位：中国电子学会 出版：《电子测量与仪器学报》1990年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZIY1990010050 DOC编号：DOCDZIY1990010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文报道用微波压电换能器的输入导纳测定AIN压电薄膜机电耦合系数的方法。在微波频率下测得横向受夹厚度模AIH压电薄膜的机电耦合系数为O.13。这个结果略小于块材AIN的值，可能是由于所生长的AIN薄膜微晶C轴方向有—定的分散性和C轴反向性所致。从导纳测定结果上表明：抉能器中有一等效的串联电阻，这个串联电阻可用于说明匹配和调谐换能器存在损耗的原因。

    📙 相关资料

    1. 《氮化铝薄膜微波换能器的研制》PDF+DOC 阐述用直流平面磁控溅射法在z-LiNbO_3传声介质上淀积出优质氮化铝薄膜，并制成了一维纵模微波换能器，还由它制成了微波体声波延迟线.该延迟线在中心频率为2.21GHz、延迟时间为1.83μs下插损为22dB，带宽(3dB)为13％.对在微波频率下应用的这种AlN压电薄膜，由导纳法经实验曲线和理论计......
    2. 《对用氮化铝压电薄膜制作微波体声波延迟线的研究》PDF+DOC 本文报导了用直流平面磁控溅射法在 Z—LiNbO_3传声介质上淀积出优质的氮化铝(AlN)压电薄膜制成的微波体声波延迟线。文中对该器件的工作原理、结构和设计进行了详细的描述。用 AlN 压电薄膜的一维纵振动模作激励和接收声波制得的单端反射式微波体声波延迟线，在中心频率为2.21GHz 时测得其延迟时......
    3. 《(PVDF)压电塑料的特性及其应用》PDF+DOC 介绍高分子压电塑料的物理特性和用压电薄膜制成的几种传感器的基本结构，此外，讨论了适用于压电塑料的前置放大器。...
    4. 《薄膜传感器和换能器的概况》PDF+DOC 本文对薄膜换能器和传感器的现况作了扼要的评述.介绍了SiC热敏电阻，SnO_2气敏电阻、PLT热释电红外探测器和ZnO压电换能器等薄膜器件的原理、结构、性能和应用情形等. 薄膜传感器和换能器具有体积小，比表面积大，省料和便于集成化等优点.现在，有些薄膜传感器和换能器已很成熟并已付诸实用.但是，多数薄......
    5. 《双套筒式PVDF聚合物薄膜水听器》PDF+DOC 本文提出一种采用PVDF聚合物薄膜作为压电材料的双套筒式水听器结构，并通过静态分析方法给出了水听器的低频电声灵敏度公式。理论优化值及一例该结构式水听器的实测结果均表明，这种结构具有乐观的应用前景。...
    6. 《新型传感器讲座——第五讲 新型有机压电材料及传感器》PDF+DOC 本世纪50年代发现，有些生物机体组织(例如腱、肌、骨、羊毛、木材等)在承受应力或应变时会产生表面电荷的变化.这一启示说明，有机物质也可产生较大的压电效应.到了60年代末，日本科学家Kawai首先观察到经单轴拉伸和电极化的聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜具有强压电性，其压电电压常数g31约为30&#......
    7. 《微波延迟线用大功率ZnO薄膜换能器》PDF+DOC 本文介绍大功率微波换能器用ZnO薄膜的制备及性能。采用这种薄膜的换能器用于Au/Cr/ZnO/Au/Cr/c-A1_2O_3结构的延迟线，在f_0=3GHz时，实测输入平均功率可达1W，脉冲功率可达10W以上。...
    8. 《电容式微超声传感器的电极参数优化设计》PDF+DOC 建立了电容式微超声传感器(cMUT)的有限元模型，通过对模型进行静电-结构耦合仿真分析，研究了金属电极的结构参数包括电极面积、电极厚度、电极材料以及电极相对与薄膜的位置等参数的变化对传感器性能的影响。分析了电极参数与传感器吸合电压，静态电容，机电转换比以及机电耦合系数的关系，最后得到了优化的电极结构......
    9. 《PT/PZT/PT薄膜微力传感器》PDF+DOC 提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。运用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法制作了PT和PZT薄膜，采用X射线衍射技术表征了PZT和PT/PZT/PT两种薄膜的成相特征，用阻抗分析仪测试了PZT和PT/PZT/PT薄膜的介电常数。结果表明，在PZT薄膜退火温度同为600℃时，......
    10. 《PVDF压电薄膜传感器的制作》PDF+DOC 通过对PVDF压电薄膜压电特性的了解，实验室中制作PVDF薄膜传感器的工艺流程主要包括薄膜形状的确定、薄膜切割、边缘化处理、电极的引出、加保护层等步骤。在传感器的制作过程中本文还总结出制作工艺中的注意事项。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。