作者:黄鸿雁,潘喜军 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1989年第02期 页数:11页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1989020150 DOC编号:DOCCGQJ1989020159 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 金属氧化膜类湿度传感器一般分为两类:一类是电容式,一类是电阻式。电容式的以Al_2O_3和Ta_2O_5氧化膜湿度传感器为代表;电阻式的以Fe_3O_4氧化膜湿度传感器为代表。

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