作者：郑义中,侯文郁,高玉成 单位：中国计量科学研究院 出版：《计量科学与技术》1985年第08期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLJS1985080060 DOC编号：DOCJLJS1985080069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 目前，随着机械加工精度的提高，对几何尺寸的检测要求也越来越高，尤其对孔径的检测更为重要。近年来用电容测微仪测量微小位移取得了相当可喜的进展，充分发挥了灵敏度高、线性好、稳定、仪器简单、操作方便等优点。在电容测微仪用于孔径测量方面，由于孔壁是柱面，而且曲率半径因孔而异，因此测孔传感器的工作原理、结构计算以及使用方式都与测量平面位移时有着很多差异，故本文就测孔几种方案的设计与计算以及误差分析作如下介绍。一、测孔传感器的工作原理 1.平面传感器C_T平的计算测孔传感器是用φ3mm平面传感器按面

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