《多层薄膜传感器的研制和应用》PDF+DOC

以往，高速流中物体表面热流的测量主要采用1.薄膜热流计法；2.热量计法；3.利用物体内部的定常温度梯度法；4.利用色变和相变涂料法。后三种方法的空间分辨率和响应特性差。第一种方法虽具有空间分辨率高和响应快的优点，但不适用于像超高速风洞那样的气流持续时间短的风洞。为了解决上述热流测量问题，日本九洲大学航空工程系研制一种既能用于低速风洞又能用于超音速风洞，具有高的空间分辨率和高速响应特性的新型薄膜热流传感器。它的结构是在黄铜柱体表面上形成的约10微米厚的一氧化硅热电阻膜，再用真空蒸镀法在电阻膜上下表面

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