《小型化压力传感器的设计》PDF+DOC
作者:张晓梅
,张俊瑞
单位:黑龙江大学
出版:《黑龙江大学自然科学学报》1988年第04期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHLDZ1988040200
DOC编号:DOCHLDZ1988040209
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通常硅杯式压力传感器是采用IC技术在n型硅片表面形成四个P型电阻而联成惠斯登电桥,在理想情况下四个扩散电阻电参数和温度特性完全一致时,联成的电桥在无压力作用时输出为零。但是,在实际制造过程中,由于工艺上的原因,制造出来的四个扩散电阻的电学和热学参数总是存在一定的差异,致使扩散硅式压力传感器存在零位漂移和零位失调。目前国内采用串、并联电阻的方法解决这个问题,这种方法虽然有一定的效果,但仍存在着增加功耗、补偿精度不高、可靠性差的问题。
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