作者：王守觉 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1987年第Z1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1987Z10010 DOC编号：DOCCGQJ1987Z10019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在众多的材料中，半导体材料对制作各种传感器有着天然的优越性，因它对光、热、压力、磁场、辐照、湿度、气体、离子等都很敏感，并能以电信号的形式输出。在各种技术中，半导体工艺技术在制作传感器上又有独到之处。目前，传感器正向着微型化、集成化、

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