作者:崔昊杨,李宏建,谢自芳,赵楚军,彭景翠 单位:重庆西南信息有限公司 出版:《材料导报》2004年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCLDB2004030100 DOC编号:DOCCLDB2004030109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 综述了几种常见的多孔硅传感器的制备方法与敏感特性,并着重对气敏、湿敏、生物敏多孔硅传感器的传感机理做了详细的介绍,论述了多孔硅传感器研究的新动向,展望了它的未来发展。

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