《硅微型传感器——医用传感器的新方向》PDF+DOC
作者:谢国章
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1985年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1985030090
DOC编号:DOCCGQJ1985030099
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,李韫言
,涂序彦
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在当代医疗技术中,往往需要采用吞服或植入的办法将传感器输入人体内,以测量诸如血压、心跳等动态参数的变化。能满足这种要求的传感器,第一要小型、可靠;第二要与生物兼容;第三要有不受体内流质影响的良好密封。当代微电子技术,具备了解决这些问题的必要条件。采用硅单晶片以及硅集成电路的微细加工技术,业已制出各种小巧玲珑的传感器,有
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