作者： 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》1989年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS1989030150 DOC编号：DOCIKJS1989030159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用扩散型半导体压力传感器(下面简称扩散型压力传感器)，可较方便地将流体压力转换成电量。在几毫米见方的硅片上，按桥式配置扩散电阻，当压力施加在硅片上时，电阻就发生变化。扩散型压力传感器，就是利用这种压阻效应，将压力转换为电量的元件。硅片的厚度腐蚀成几十纳米，根据厚度及其它因素来决定额定压力。由于额定压力较小，为10kg/cm~2，而且大都只使用非腐蚀性气体，所以往往用在气体压力有关的测量上。当额定输出达100mV时，输出比采用老的应变片之类的方法大几倍到十几倍，既使不采用特殊的电路，只使用通用运算放大器，也是很实用的。由于扩散型压力传感器通常易受温度的影响，所以有时在外部电

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