作者：范正田 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1980年第03期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1980030120 DOC编号：DOCYBJS1980030129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在沈阳仪器仪表工艺研究所科研成果的基础上，营口仪表元件一厂于一九七九年试制出YC-200型扩散硅固态压力传感器。经过现场运行及有关单位的技术鉴定，该传感器性能稳定，综合精度达0.1％以上，可以组织小批量生产。这种传感器是利用半导体的压阻效应，在N型单晶硅膜片上，采用集成电路工艺沿一定的晶向制成四个P型电阻，接成桥路。因此，具有灵敏度高、稳定性及可靠性好、体积小重量轻等特点。可用于非腐蚀性气体、液体的压力或差压测量，并可配合显示及调节仪表，进

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