作者: 单位:上海市电子学会;上海市通信学会 出版:《》 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZJS1986070020 DOC编号:DOCDZJS1986070029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 声表面波传感器最近国外研制成一种由压电基片组成的声表面波传感器(如下图),它的每一端用微加工技术制成叉指式电极阵列,作为传递器和接收器。当传递器被谐振频率激励时,在基片上同时感应产生机械雷利波,然后接收器将此机械波转换成电信号,并进行放大。传波特性取决于表面材料第一个100μm 处的特性。由于吸收或冷凝现象引起的表面特性的变化,使输出频率产生可测变化。在声表面波器件上涂覆适当材料,能检测诸如水、乙醇、SO_2、H_2和有机磷化合物蒸汽的 ppm 浓度;它

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