作者：曹艳 单位：中国电科技集团公司第三研究所 出版：《电声技术》2019年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDSJS2019080160 DOC编号：DOCDSJS2019080169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 声表面波即沿着弹性固体表面传播的声波，由于声表面波对外界环境极为敏感，广泛用于各类物理量、化学量的测量。声表面波传感器具有高精度、高灵敏度、数字化、易批量生产、体积小、质量轻、功耗低等优势，且可实现无线无源传感，具有广阔的应用前景。文章分析了声表面波器件的结构和设计要点，完成了铌酸锂压电基底声表面波气体传感器的二维建模，并进行了有限元分析，从电极材料、基底高度的角度给出了参数优化方案，为进一步完成器件设计提供了参考。

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