作者：王德荣,王新国,石茂,林舒维 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1989年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1989060090 DOC编号：DOCCGQJ1989060099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍一种0～10mm、分辨率1μm数字光栅测微仪，它是一种具有任意零点、高精度的测长系统，由光栅位移传感器和数显仪两部分组成。介绍了其工作原理、主要技术指标和应用。

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