作者:虞惇 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1982年第04期 页数:9页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1982040050 DOC编号:DOCCGQJ1982040059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 一 前言 半导导体场效应化学传感器CSSD(Chemical Schsitive Semiconductor Device)是七十年代初期发展起来的一类新型半导体传感器。随着集成电路技术和离子交换技术的进展,在生物医学工程、自动控制技术的刺激下,这类传感器的研究日益受到重视。

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