作者：邱自学,袁江,毛建 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2006年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2006080220 DOC编号：DOCCGQJ2006080229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 分析了改进表面分流型二维位置敏感探测器(PSD)的工作原理及信号调理电路，针对PSD位置检测误差大的缺点，设计了利用万能工具显微镜进行标定的实验系统，运用误差理论对传感器在A区和B区的X向及Y向位置测试数据进行了校正。实验结果表明：应用这种校正方法，可减少PSD的位置检测误差，其中，A区位置检测误差可减少到&#177；0.02mm。

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