作者：孙艳玲 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》2006年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB2006090100 DOC编号：DOCZYQB2006090109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文分析了传统电感接触式测量仪的系统误差，提出了一种基于垂直位移扫描工作的表面轮廓综合测量仪的整体设计方案，克服了接触式测量仪的大量程和高精度之间的矛盾，给出了实际测量结果。

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