作者：王淑珍,谢铁邦 单位：中国机械工程学会;广州机械科学研究院 出版：《润滑与密封》2009年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFRHMF2009050280 DOC编号：DOCRHMF2009050289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种新型的基于直线相位光栅干涉三维表面形貌测量仪，该测量仪具有高分辨率、大量程、低成本的特点。该三维表面形貌测量仪由基于直线相位衍射光栅干涉原理的微位移传感器、X-Y二维工作台、立柱、光电探测器以及信号处理电路、计算机及数据处理软件组成。该轮廓仪工作台的工作范围为50mm&#215；50mm，最小步距为0.2μm，工作台计量系统的分辨率为0.05μm，微位移传感器理论垂直分辨率可达到0.12nm，实际测量量程为2mm，通过更换测杆可以达到6mm的测量量程。

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