作者：何青,杜冬梅,张志,薛惠芳 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2007年第Z1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2007Z10490 DOC编号：DOCBDTQ2007Z10499 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用基于MEMS技术的ADXL330三轴加速度计芯片，设计了适合水下结构振动测试的加速度传感器，并应用于某输水管线闸门振动监测系统中。分析了ADXL330结构、原理和标定方法。根据水下结构振动测试特点和要求，设计了应用电路、防水结构以及振动测试系统。现场应用表明，采用该芯片设计的三轴加速度传感器能够满足水下结构振动监测的需要，具有低成本、高精度、易安装和安全可靠等特点。

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