作者：廖清远,叶柏龙 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2015年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2015040300 DOC编号：DOCCGQJ2015040309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 如何对半导体工厂运行中的晶圆传输设备进行监测也成为半导体厂商面临的主要问题之一。针对现有晶圆传输的振动监测问题，结合MEMS传感器和无线传输特点，提出了基于无线MEMS加速度传感器的晶圆传输过程的振动监测系统。系统以MEMS电容式加速度传感器为测试载体采集振动数据，通过蓝牙无线传感器网络将采集到的数据传输到主服务器，在监控PC上实时显示和处理，从而获得晶圆传输过程的振动信息。最后通过仿真验证可得，采用MEMS传感器可以满足轻负载的晶圆传输过程的测试需求，而且采用蓝牙无线传输方式也可以避免监测系统中的布线复杂，成本高等不足。系统实现了半导体工厂中的晶圆传输全过程的在线实时监测，可以及早发现生产线中设备的故障。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS加速度传感器在微型特种机器人中的应用》PDF+DOC 提出一种基于MEMS加速度传感器LIS3LV02DL的特种机器人姿态测控和环境感知方案。阐述了系统硬件组成，分析了传感器姿态测控方法和环境感知原理。为提高加速度传感器工作精度，设计了一种加速度传感器校正方法。试验结果表明：该加速度传感器能较好地感知机器人运动的姿态与方向，并实现机器人着陆姿态调整和外......
    2. 《MEMS高G值加速度传感器设计》PDF+DOC 针对特殊场合的测试需求，设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器，结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法，减轻质量块质量，且减小质量块质心与梁中心面的相对距离。利用力学计算与工艺相结合，确定了结构尺寸；通过Ansys软件对其进行应力分析、模态分析，得到了结构的输出灵敏度与一阶固有频率；最后利用瞬......
    3. 《基于MEMS的电容式传感器信号调理电路设计》PDF+DOC 为了提高MEMS(Micro-electro-mechanical Systems)微机电系统电容式传感器测量低电容的灵敏度，提出了一种MEMS电容式传感器调理电路，并采用绝缘硅片(SOI)MEMS电容式加速度传感器组成了完整的电容测量系统。该信号调理电路采用了一组片上电容阵列用以抵消电容结构的失配......
    4. 《基于MEMS多功能体感输入系统研究与设计》PDF+DOC 如今越来越多的无线体感输入设备应用在多媒体场合。针对该设备功能单一同时价格昂贵等缺点，本文提出了一种简易多功能体感输入系统。该系统具有鼠标、手柄、滚轮等多种计算机外设功能。设计采用加速度传感器感应手掌在空间x和y方向上的加速度大小，将加速度信号处理转换成手掌的倾角姿态、转动角速度等运动参数，同时根据......
    5. 《MEMS传感器研究现状与发展趋势》PDF+DOC 微型化、集成化及智能化是当今科学技术的主要发展方向。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)和微加工技术的发展，微型传感器也随之迅速发展。介绍了MEMS传感器概念及种类，并对其研究现状、应用领域进行了分析总结和介绍。最后，对MEMS传感器的一些发展趋......
    6. 《基于MEMS加速度传感器的位移检测系统》PDF+DOC 为了实现对物体运动位移的检测，设计了一种以国产高精度MEMS电容式加速度传感器MSCA3002为核心，24位高精度A/D转换器ADS1255，高性能ARM处理器LM3S2B93为主控制器的位移检测系统，并详细给出该系统的硬件电路及其软件算法设计。系统将传感器检测到的物体运动的加速度，经过积分算法转换......
    7. 《MEMS传感器在汽车电子中的应用》PDF+DOC 阐述了MEMS(微机电系统)的技术与市场特征，从加速度传感器、陀螺仪和压力传感器等多个方面，分析了MEMS传感器在汽车安全与舒适驾驶中的应用。...
    8. 《四电极电化学MEMS加速度传感器仿真》PDF+DOC 基于溶液相对于电极的运动会使电极附近因电势差作用而产生的离子浓度梯度发生改变，从而使电极电流发生变化等电化学原理，建立一种置于碘(I2)和碘化钾(KI)混合水溶液环境中的阳极—阴极—阴极—阳极(ACCA)四电极阵列传感单元模型。通过理论分析，该传感单元可以局部电解液为惯性质量，利用电解液中带电离子相......
    9. 《船舶机舱动力设备振动监测系统研究》PDF+DOC 系统以加速度传感器、WLS-9234无线数据采集卡、PC机为主要硬件，配合LabVIEW虚拟仪器软件，就可以在线观测船舶机舱动力设备的振动波形、存储振动数据。利用软件进行频谱分析和小波分析，最终实现了设备工作状态的诊断。测试实验结果表明，该系统具有传输距离远、耗电量低、可靠性高、速度快的优点，能够改......
    10. 《基于MEMS的无线姿态测量系统》PDF+DOC 介绍了姿态测量的原理，设计了一种基于多MEMS的无线姿态测量系统。重点介绍了用Kalman滤波器对数据的处理过程，即利用陀螺测量值更新上一步的结果，用加速度计和地磁传感器的测量值作为观测量，修正由陀螺得到的结果。完成了硬件电路的设计和算法的编程实现。该系统具有体积小、无线传输、精度较高等特点，可用于......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。