作者：龚超,邓凯,陶虎,白强,陈绍凤,夏善红 单位：东南大学 出版：《电子器件》2005年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ20050100C0 DOC编号：DOCDZQJ20050100C9 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器》PDF+DOC2016年第02期 王宇,方东明,陈博,彭春荣,夏善红 《聚酰亚胺振动膜微型电场传感器》PDF+DOC2004年第12期 龚超,夏善红,邓凯,白强,陈绍凤 《SOI微型电场传感器的设计与测试》PDF+DOC2011年第11期 杨鹏飞,彭春荣,张海岩,刘世国,夏善红 《热驱动微型电场传感器干燥技术》PDF+DOC2010年第06期 郭鑫,杨鹏飞,张海岩,彭春荣,夏善红 《瞬态电场时域测试技术的研究现状与展望》PDF+DOC2014年第07期 刘卫东,胡小锋 《光纤电场传感器的试验测试研究》PDF+DOC2020年第08期 潘生华,肖继忠 《横电磁波小室校准系统产生标准电场的不确定度评定》PDF+DOC2012年第11期 曾嵘,沈晓丽,陈未远 《水下电磁探测技术的发展现状》PDF+DOC2019年第04期 程锦房,张伽伟,姜润翔,喻鹏 《集成光学电场传感器工作点分析研究》PDF+DOC2009年第05期 孙豹,陈福深 《架空线路小电流接地故障零模电压信号获取新方法》PDF+DOC2009年第06期 孙波,孙同景,徐丙垠,薛永端,王涛

    • 设计了一种具有四个驱动电极和独特支撑结构并基于 MEMS技术制作的微型电场传感器。该传感器的四个驱动电极具有完全相同的形状，在使用时可以将其中的两个用作驱动，另外两个作为振动检测电极，监控振动情况。传感器的支撑结构可以限制振动幅度，使传感器在脉冲信号驱动下也能稳定工作。因此该电场传感器除了具备其它微型电场传感器的优点以外，还可以根据应用场合的需要选择不同的驱动模式。从而可以根据具体应用的要求，使用较简单的测试系统减轻重量，或使用较复杂的测试系统提高测试的精度和稳定性。本文介绍了此种传感器的结构，工作原理以及三种不同的驱动模式的实现方法，并讨论了不同模式的应用场合。

    📙 相关资料

    1. 《基于旋转谐振结构的单芯片二维电场传感器》PDF+DOC 提出并研制了一种二维电场检测传感芯片，将四个电场测量微型单元和旋转式驱动微结构集成在3.5 mm&#215；3.5 mm的敏感结构上，实现了单芯片的电场二维测量。介绍了传感器的工作原理、敏感结构的设计，以及基于绝缘体上硅(SOI)工艺的单芯片微型二维电场传感器制备工艺技术。成功研制出传感器原......
    2. 《聚酰亚胺振动膜微型电场传感器》PDF+DOC 设计并分析了一种新型的以硅为基底、聚酰亚胺为振动膜的微型电场传感器。此种传感器利用了聚酰亚胺耐热、耐腐蚀并具有良好机械性能的特点，采用MEMS技术制造，使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其他器件集成等特点，而且制作工艺简单，成本较低。本文阐述了此传感器的工作原理，并通过计算机模拟确定了增强信号的......
    3. 《SOI微型电场传感器的设计与测试》PDF+DOC 该文研制了一种新型的基于SOI(Silicon-On-Insulator)微机械加工技术的高性能电场传感器敏感结构。为提高传感器的灵敏度和信噪比，该器件采用侧面屏蔽感应电极的独特设计方案，降低了传感器屏蔽电极的边缘效应；并基于有限元仿真，进一步优化了传感器敏感结构参数。在室温和室内大气压条件下，测试......
    4. 《热驱动微型电场传感器干燥技术》PDF+DOC 介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程，主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺。热驱动微型电场传感器工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连，为了避免粘连现象的产生，采用了不同的干燥方法，如蒸发干燥法、CO2临界点干燥法、自组装膜方法，并对这些方法的优缺点进行了比较。对不同干燥方法制备的热驱动微......
    5. 《瞬态电场时域测试技术的研究现状与展望》PDF+DOC 随着电磁环境效应与防护技术研究的不断深入，瞬态电场时域测试技术已成为电磁脉冲攻防领域急需解决的关键性科学问题之一。文章从“硬件”和“软件”两个方面，对不同类型电场传感器的特点以及瞬态电场时域测试系统的动态补偿技术等进行了对比总结，指出瞬态电场时域测试技术在测试系统动态性能提高、测量误差评定、动态性能......
    6. 《光纤电场传感器的试验测试研究》PDF+DOC 由于光纤电场传感器具有抗干扰、体积小、灵敏度高以及重量轻等特点，特别是其突出的绝缘性和屏蔽效果，使其在强电磁场的极端环境中被广泛应用。为了测试光纤电场传感器的实际应用效果，对传感器进行了基础试验、冲击试验等一系列测试。通过测试发现，被测试的光纤电场传感器具有灵敏度高、抗干扰性好、性能可靠以及体积小巧......
    7. 《横电磁波小室校准系统产生标准电场的不确定度评定》PDF+DOC 电场传感器需要通过校准才能应用于电场测量，校准系统的不确定度反映了传感器校准结果的可信赖程度，所以需要评定校准系统的不确定度。横电磁波(TEM)小室具有成本低、内部电场均匀性好、幅值较高等优点，适用于产生标准电场，进行电场传感器的校准工作。针对光电集成电场传感器的校准需求，建立了一套TEM小室电场传......
    8. 《水下电磁探测技术的发展现状》PDF+DOC 首先阐述了水下电磁探测技术的现实意义，之后介绍了国外水下电磁探测、预警系统的研究现状，以及电场传感器、磁场传感器的性能指标。通过对国内水下电磁探测技术的发展历程以及与国外的差距进行分析，指出未来水下电磁探测系统集成化、智能化、系统化、无人化、多元化和网络化的发展趋势。...
    9. 《集成光学电场传感器工作点分析研究》PDF+DOC 针对光波导电场传感器无源工作的特点，分析了电场传感器工作点对传感灵敏度、线性动态范围的影响。在系统噪声主要为热噪声时，器件工作点在π/2时，器件灵敏度最高；而系统噪声主要为量子噪声时，器件工作点由π/2靠近π一方时，可获得最高灵敏度。器件工作点在π/2时，线性动态范围最大。分析结果表明，为了获得最大......
    10. 《架空线路小电流接地故障零模电压信号获取新方法》PDF+DOC 提出一种通过电场感应获取架空线路小电流接地故障零模电压信号的新方法。阐述了线路下方由三相电压共同产生电场的特征，提出故障前后垂直地面方向电场的变化量与零模电压基本成比例关系，通过感应该电场变化量可以获取暂态及稳态零模电压信号。提出利用电荷放大器和平行金属极板组成的电场传感器感应空间电场获取零模电压信......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。