作者：邱成军,刘鑫,曲伟,张辉军 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2005年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2005030220 DOC编号：DOCCGJS2005030229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料，具有MEMS结构的氧传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。给出了溅射制备TiO2薄膜的方法及锐钛矿型晶体结构能谱，讨论了二氧化钛的氧敏机理。研究表明与传统的气体传感器相比，此种传感器具有体积小、低功耗、可集成的特点。

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