作者：娄利飞,杨银堂,张军琴,李跃进 单位：西北工业大学 出版：《机械科学与技术》2005年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXKX2005070320 DOC编号：DOCJXKX2005070329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究的PZT压电薄膜微传感器采用的弹性敏感元件为微悬臂梁结构，在压电原理和材料力学理论的基础上，采用简化的等效微器件结构建立了数学分析模型，将有限元方法发展应用于压电材料的结构分析中，并运用有限元软件Ansys7.0对PZT压电薄膜微悬臂梁结构的传感性能和线性度进行了模拟，同时分析了微悬臂梁结构的几何参数对输出电压的影响，这些分析结果和解析预测是一致的。

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