作者：朱霞,邓明晰 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2005年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2005060040 DOC编号：DOCYDSG2005060049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 新型微量液体密度传感器采用压电基片-液体层-压电基片结构。两个叉指换能器(IDT)分别位于压电基片-液体层-压电基片的两个液固界面上，压电基片保持平行且两个IDT处于相对的位置。一定条件之下第一个IDT在射频脉冲的激励下可只向液体层中辐射出高频超声脉冲，该超声脉冲在液体层中来回反射。液体层中来回反射的超声脉冲每次入射到起接收作用的第二个IDT上均有一个电脉冲信号输出。液体层密度值可用超声脉冲在液体层内来回传播一次的声时变化予以表征。通过测量第二个IDT输出的前两个电脉冲信号之间的时间间隔变化，即可得到相应的液体密度值。实验结果表明，采用压电基片-液体层-压电基片结构的微量液体密度传感器的敏感程度至少可达10-5g.cm-3/ns量级。

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