作者：斯东浩,李艳松 单位：北京方略信息科技有限公司 出版：《国外电子测量技术》2005年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGWCL20050100I0 DOC编号：DOCGWCL20050100I9 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于MEMS的液压系统V锥传感器的仿真研究》PDF+DOC2012年第05期 张洪朋,顾长智,张兴明,陈海泉,刘东,张银东,沈岩 《基于MEMS工艺的压阻式湿度传感器的设计制作》PDF+DOC2008年第05期 孙慧明,张筱朵,吴剑,秦明,黄庆安 《基于MEMS技术的硅微机械流体传感器的原理及应用》PDF+DOC2007年第03期 张树生,韩克江,成健 《基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展》PDF+DOC2005年第03期 彭杰纲,周兆英,叶雄英 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC2020年第08期 徐洋 《微小流量传感器的研制》PDF+DOC2003年第07期 张滨华,范秋涛,张伟刚,王华 《Peltier流量传感器研究》PDF+DOC2003年第04期 孙广清,王磊,张志明 《浅谈涡街流量传感器及其应用》PDF+DOC2001年第04期 张伟 《涡街流量计及其在蒸汽计量中的应用》PDF+DOC2009年第07期 田巍,高善荣 《MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置》PDF+DOC2014年第08期 高杨,代富,席仕伟,刘婷婷

    • 本文主要介绍了用MEMS技术制造的热式质量流量传感器工作的基本原理，并进行了制造工艺和性能描述以及相关领域的应用。

    📙 相关资料

    1. 《基于MEMS的液压系统V锥传感器的仿真研究》PDF+DOC 在液压系统中，由于液压传动的特点以及液压油的局限性，在针对流量的测量过程中，目前很难找到比较理想的动态测量仪表。为了改善这一现状，在应用压力梯度法测量液压系统流量研究的基础上，将先进的MEMS技术与传统V锥流量传感器相结合，提出一种在管内直接获得压差信号，进而测得流量的新方法。同时推导了流量-差压数......
    2. 《基于MEMS工艺的压阻式湿度传感器的设计制作》PDF+DOC 提出用硅-硅直接键合的SOI片制作压阻式湿度传感器。它是利用涂覆在硅膜上聚酰亚胺膜吸湿发生膨胀，导致双膜结构发生弯曲产生应力的原理进行工作的。为了确定传感器结构、优化尺寸，采用ANSYS软件进行了模拟计算、设计了MEMS湿度传感器的制造工艺，对制作的微湿度传感器进行了测试，其灵敏度为0.21 mV%......
    3. 《基于MEMS技术的硅微机械流体传感器的原理及应用》PDF+DOC 传统的流体传感器由于存在着灵敏度低、体积大、成本高等缺点，而且微流体与宏观流体流动特性不同，所以其在微流体的流体特性测量中存在很大的局限性。随着MEMS技术的发展，硅微机械流体传感器的出现克服了传统流体传感器的缺点。硅微机械流体传感器已成为MEMS的研究热点之一。按其用途进行了分类，着重介绍了流体压......
    4. 《基于MEMS技术的微型流量传感器的研究进展》PDF+DOC 流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来，随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展，传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度，微型化，高精度，高可靠性方向发展，同时生命科学的发展大大促进了用于微流体，生物学、医学、卫生、食物等学科研究新型微型流量传感器的研究开发，微型......
    5. 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC 本文设计了一种热隔离式MEMS气体流量传感器系统，系统基于复合支撑薄膜电调制红外辐射源，是单片式电容硅基微传声器，借助接口连接微孔粉尘过滤、低温除湿器，实现MEMS与IC集成。在紧急应急方面，借助长光程气体池、光路系统，对光源、检测器进一步优化，通过可扩充多气体分析软件、仪器自动操控软件，在线监测化......
    6. 《微小流量传感器的研制》PDF+DOC 介绍了一种新型基于可变面积原理设计的微小流量传感器，阐述了高准确度微流量传感器理论设计方法、结构特点及传感器的信号处理技术，同时也对微流量传感器的标定测试方法进行了探讨和实验验证。实际测量和使用表明：该传感器具有准确度高、可靠性高、抗干扰能力强、结构简单、智能化等特点。...
    7. 《Peltier流量传感器研究》PDF+DOC 文中介绍了用Peltier元件测量流体流量的原理和方法 ，并对Peltier元件的特性进行了测试和分析。利用Peltier效应使元件的正反面之间产生温度差采用差动式温度测量确定流体的流速 ，并对流体自身的温度变化予以补偿 ，减小了由于流体自身温度变化而产生的干扰 ，从而减少了由于流体自身温度变化而产......
    8. 《浅谈涡街流量传感器及其应用》PDF+DOC 从分析蒸汽特性入手 ，详细介绍涡街流量传感器的特点 ，适用范围 ，工作原理及存在问题。...
    9. 《涡街流量计及其在蒸汽计量中的应用》PDF+DOC 一、涡街流量计原理涡街流量计是利用卡门原理和压电技术制造的速度式流量计，传感器输出的频率值与管道中介质流速成正比：...
    10. 《MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置》PDF+DOC 为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定，设计制作了一种由标准流量发生器和传感器信号读出与数据采集电路组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和可更换的砝码组成，利用不同的砝码配重，在注射器出气口产生合适的恒定气体流速。通过理论分析和Ansys有限元数值仿真，验证了简易标准流......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。