作者：程坤,秦明,张中平,黄庆安 单位：四川固体电路研究所 出版：《微电子学》2005年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFMINI2005060190 DOC编号：DOCMINI2005060199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种本实验室开发的集成湿度传感器，它实现了湿敏电容和接口电路在一块芯片上的集成。重点分析了它的接口电路，基于施密特触发器构建，实现电容值与频率值的转换。对样片进行了测试，电容值与湿度值近似为线性关系；但是，输出波形的占空比与理论值有较大的偏差。通过分析，给出了测试结果发生偏差的原因。最后，对施密特触发器的参数进行优化，重新对电路的结构进行了设计，实现了与实验室第二代湿度传感器的集成。

    📙 相关资料

    1. 《基于AlPO4-5分子筛的湿度传感器的研究》PDF+DOC 本文成功在电阻型湿度传感器中使用AlPO4-5分子筛材料。本文制备的传感器在湿度范围11%-95%内呈现良好的线性关系，响应和恢复时间都是2s。基于AlPO4-5分子筛的湿度传感器具有优良的性能，有进一步制作高性能的湿度传感器研究意义。...
    2. 《薄膜型集成温——湿度传感器》PDF+DOC 文章推出一种温—湿度一体化的传感器，该传感器以硅片为基础材料，用扩散法制成P—N结做测温元件，测湿元件是用高频溅射法制成的复合氧化物湿敏薄膜，湿敏膜的加热清洗可用敏感膜下面的扩散电阻加热器进行。这种一体化的传感器使用方便、响应快，且容易做到一致性和互换性。该传感器制作中完成了薄膜工艺与硅平面工艺的兼......
    3. 《无线加速度传感器的MEMS芯片ADXL202应用设计与集成》PDF+DOC 阐述了一种基于MEMS技术的芯片ADXL202的应用设计与集成。介绍了ADXL202的测试原理和主要参数设计原则，然后利用其集成了一种无线加速度传感器并进行了测试。实验结果表明ADXL202非常适合于频率变化较为缓慢、加速度不太大的土木工程结构的测量；利用ADXL202所构成的无线加速度传感器，易安......
    4. 《基于PIC系列单片机的智能湿度测量》PDF+DOC HM1500是一种精密湿度传感器.采用HUMIREL公司的专利湿敏电容HS1101设计制造。介绍了HM1500的主要性能指标，同时给出了其与PIC系列单片机的接口及温度误差的补偿方法。...
    5. 《一种新型的CMOS集成湿度传感器》PDF+DOC 利用MEMS技术 ，对一种新型CMOS湿度传感器进行理论分析、模拟以及结果讨论。该湿度传感器采用标准CMOS工艺制造 ，采用梳状铝电极结构、梳状多晶硅加热结构 ，衬底接地 ，感湿介质采用聚酰亚胺 ，利用商业软件Coventor进行模拟绘制出敏感电容与相对湿度的曲线图。接口电路采用开关电容电路 ，输出......
    6. 《湿度传感器的发展趋势》PDF+DOC 介绍湿敏元件的特性，重点阐述集成湿度传感器、单片智能化湿度/温度传感器的性能特点及产品分类，最后给出集成湿度传感器典型产品的技术指标。...
    7. 《用于数字式电子探空仪的几种湿度传感器》PDF+DOC 本文介绍了目前在探空仪上使用的几种湿度传感器。着重介绍了集成湿度传感器的组成、原理和性质。...
    8. 《一种微电容式传感器检测电路的分析与改进》PDF+DOC 介绍了一种本实验室开发的集成传感器，它实现了敏感电容和接口电路在一块芯片上的集成。重点分析了它的接口电路，基于施密特触发器构建，实现敏感电容值以及参考电容值与频率值的转换，通过对两频率求差来抑制各种共模干扰。对样片进行了测试，输出频率与理论值有较大的偏差。通过分析，给出了测试结果发生偏差的原因。最后......
    9. 《湿度传感器发展方向邹议》PDF+DOC 本文介绍了湿敏元件的特性，重点阐述集成湿度传感器、单片智能化湿度/温度传感器的性能特点及产品分类，最后给出集成湿度传感器典型产品的技术指标。...
    10. 《用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究》PDF+DOC 设计制作了一种基于MEMS技术，可应用于高空湿度探测的薄膜湿敏电容.电容采用三明治结构，聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感层材料，金作为上、下电极.测试结果表明，在15%RH~95%RH的全量程范围内，湿敏电容的合格率≥80%，灵敏度约为0.29pF/%RH，线性误差&lt；1.5%RH，湿滞较小，响......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。