作者：程海洋,秦明,高冬晖 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2005年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2005050110 DOC编号：DOCCGQJ2005050119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种CMOS(互补MOS)集成风速风向传感器，使用恒温差(CTD)控制模式将芯片加热，使其中间加热区域的温度高于周围环境(风)温度一定值。该传感器在有风吹过它的表面时能同时测量风速和风向。采用4个串联的热堆测量芯片中心区域的平均温度，这种测温的方法简单、新颖。在简单阐述CMOS硅热流量传感器的工作原理和结构之后，主要介绍驱动和信号读取电路。经过风洞测试，传感器能够测量风速0～23m/s，具有良好的线性度和灵敏度，同时，传感器360&#176；内方向敏感。

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