作者：王权,丁建宁,王文襄 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2005年第06期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2005060030 DOC编号：DOCYBJS2005060039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对通用型高温微型压力传感器的测量要求，采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片4层结构Pt5Si2-Ti-Pt-Au合金化引线系统，解决了高温压力传感器引线的难点。制作了静电键合实验装置，完成了硅/玻璃环静电键合，制作了压焊工作台，选用退火后的金丝，金金连接完成内引线键合。自制了耐高温覆铜传引板，定制了含Ag的高温焊锡丝，选用了耐高温导线作为外导线，完成了耐高温封装的关键部分。研制了高精度、稳定性的压阻式压力传感器。

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