作者：郭辉,刘书桂,郑义忠 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2005年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2005010300 DOC编号：DOCCGJS2005010309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 相邻金属孔间的壁厚测量以往都是根据镗床加工过程中的进刀量计算得出 ，精度较低。本文提出了一种应用电容传感器对两个金属孔间壁厚在线检测的系统。基于电容传感器 ，研究了电容测头的电场边缘效应的影响及保护环的宽度选择 ，设计了测量孔壁的电容测厚传感器进行差动测量。系统由两个距离确定的电容差动测厚传感器、测量电路、A/D接口及软件组成的。对壁厚 2mm ，孔径 3mm的相邻金属孔壁厚的测量实验显示 ，误差达到 0 .3μm。系统属于非接触测量 ，无需修正测头及工件变形误差。此系统测量精度高 ，测量速度快 ，操作方便 ，全套仪器便携 ，是解决相关壁厚现场精密检测问题的好方法。

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