作者：李玉婷,张文涛,王兆刚,许红彬,韩晶,李芳 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2015年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2015010120 DOC编号：DOCBDTG2015010129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 研究了一种用于颅内压测量的膜片式光纤法布里-珀罗压力传感器。外玻璃管和用于光纤准直的内玻璃管采用UV胶粘接，构成空气腔。在空气腔的一端粘接石英膜片，另一端插入多模光纤，石英膜片和光纤端面的两个反射面构成法珀干涉腔。制作了两种不同尺寸的传感器，在0~25kPa的压力测量范围内，灵敏度高达39.2nm/kPa，压强测量分辨率为133Pa，线性拟合度为99.9%，具备生物兼容性，满足人体颅内压测量的需求。与商用的颅内压测量传感器相比，该传感器制作方法简单、成本低廉。

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