作者:杨光,何金田,李新建,梁二军 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2004年第09期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2004090030 DOC编号:DOCCGQJ2004090039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了多孔硅气体传感器的原理和优点,综述了多孔硅气体传感器测量氮氧化物和几种有机气体的机理、方法及最新的研究进展,并分析了传感器的选择性和稳定性,展望了多孔硅气体传感器应用前景。

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