《多孔硅气体传感器》PDF+DOC
作者:杨光,何金田,李新建,梁二军
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2004年第09期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2004090030
DOC编号:DOCCGQJ2004090039
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介绍了多孔硅气体传感器的原理和优点,综述了多孔硅气体传感器测量氮氧化物和几种有机气体的机理、方法及最新的研究进展,并分析了传感器的选择性和稳定性,展望了多孔硅气体传感器应用前景。
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