作者：程海洋,秦明,高冬晖,朱昊 单位：东南大学 出版：《电子器件》2004年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2004030270 DOC编号：DOCDZQJ2004030279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种基于 CMOS，能同时测量风速风向的硅集成传感器。通过保持芯片和环境温差恒定在设定值 ，测量芯片上对称区域由于风强迫对流而引起的温差 ，利用二维结构同时获得风速风向信息。本文首先介绍热薄膜温差型风速风向传感器原理 ，给出了具体结构和工艺 ，最后对样品进行了风洞测试 ，传感器能够测量风速 0～ 2 3 m/ s且 3 60&#176；方向敏感

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