作者：方震,武宇,赵湛,张博军 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2004年第S2期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2004S20400 DOC编号：DOCYQXB2004S20409 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点，并可大大提高器件的一致性，可靠性，易形成批量生产能力。从理论上分析了利用热电原理测量空气相对湿度的可行性、集成温湿传感器的结构，以及具体测量方法。重点介绍了湿度部分的测量，证实所设计的集成传感器有良好性能。

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