作者：海涛,刘光辉,周真,卢为 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2003年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2003050230 DOC编号：DOCCGQJ2003050239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点。目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品。介绍了SOI晶片的种类，SOI晶片在传感器和MEMS中应用的特点、SOI传感器的典型产品以及发展趋势。

    📙 相关资料

    1. 《基于MEMS实现SOI压力传感器的工艺研究》PDF+DOC 应用压组效应原理制作硅氧化物绝缘体(SOI)压力传感器，具有耐高温、抗辐射、稳定性好等优点，本文说明了SOI在微电子机械系统(MEMS)技术上的实现优势，并对压力传感器SOI结构的实现工艺进行了探索性试验，完成了SOI压力传感器的设计和封装，在强调了压力传感器的测试方法的同时，对所设计的样品进行了测......
    2. 《SOI基光学电流传感器的设计与仿真》PDF+DOC 将光纤与微电子机械系统(MEMS)技术相结合，设计了一种新颖的检测50Hz高压交流电的光学电流传感器(OCS)。用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性，并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能。模拟计算表明：ANSYS与理论公式得到的结果基本一致；传感器的量程为100~3600A，......
    3. 《SOI宽温区微型智能压力传感器的设计与实现》PDF+DOC 该文首先介绍了SOI压阻式压力传感器的基本原理；其次，通过敏感芯片制备工艺、芯体的封装工艺、智能化温度补偿技术等方面的研究，设计了基于MEMS的SOI宽温区微型智能压力传感器的工艺技术；第三，详细介绍南京盛业达公司研制SOI宽温区微型智能压力传感器的结构和性能。结果表明，该产品具有宽温度工作范围、精......
    4. 《日本传感器市场分析》PDF+DOC 本文根据日本2000年5月公布的日本平成10年(1998年4月～1999年3月)传感器生产业绩调查报告编写而成。日本传感器统计专门委员会从1983年开始，每年对日本传感器行业市场情况进行调查统计，其统计结果基本反映了日本传感器行业市场情况，本文对此结果作一简单介绍。(本刊从1996年开始对各年调查报......
    5. 《日本传感器市场分析》PDF+DOC 本文根据日本1997年5月完成的日本平成7年(1995年)传感器生产业绩调查报告编写而成。日本传感器统计专门委员会从1983年开始，每年对日本传感器行业市场情况进行调查统计，其统计结果基本反映了日本传感器行业市场情况，本文对此结果作一简单介绍。(本刊从1996年开始对各年调查报告加以介绍)。...
    6. 《半导体压力传感器的动向》PDF+DOC 半导体压力传感器的动向樱井止水城等随着工厂自动化和家庭自动化的进展，各种传感器大量应用，其成本也因大批量生产而显著降低。温度传感器、磁传感器和光传感器是它们的代表产品。压力传感器也致力于应用集成电路技术的半导体化，实现了高性能化和降低成本，现已广泛用..。...
    7. 《传感器技术的重要地位及其开发研究动向》PDF+DOC 此文属于传感器技术综述性文章。文中论述了传感器技术的重要性，介绍了其开发研究动向。在开发研究动向中，首先介绍了新型敏感材料的开发研究和新产品的开发研究，如半导体材料、陶瓷敏感材料、高分子材料；光传感器、温度传感器、湿度传感器、气体传感器、压力传感器、磁传感器等。其次总结了传感器技术的开发趋势，包括：...
    8. 《传感器的功能化与集成化》PDF+DOC 1.概述 传感器技术的发展史可由二十年代算起，七十年代初期该技术取得重大进展，并开始向集成化发展，图1示出传感器技术以集成化和功能化为中心的开发史。六十年代后期人们将传感器作多种配置，从而测出空间物理量的分布，并且研究了能同时测量多种物理量的传感器，以及用传...
    9. 《传感器技术的发展及研究动向》PDF+DOC 今天我给大家讲讲有关传感器方面的情况，前一段先进一下目前传感器的研制情况和存在问题，后一段讲一讲今后传感器向什么方向发展。 Ⅰ 传感器技术的现状 关于传感器技术的现状，主要想从二个方面来谈，一是物理传感器，二是化学传感器，然后把二者作一下比较。 一、物理传感器...
    10. 《用于痕量胺类同系物检测的谐振式微悬臂梁传感器》PDF+DOC 采用化学修饰法，将酸性羧基基团嫁接于高比表面的积的SBA-15介孔材料中，然后将该功能化介孔材料负载于集成谐振式微悬臂梁表面，制得一种高性能的挥发性胺类同系物传感器。胺类分子的吸附将导致质量型微悬臂梁传感器谐振频率的下降，传感器检测下限可达ppb量级。对一系列胺类同系物的检测结果表明，胺类分子在羧基......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。