作者：翟成瑞,张文栋 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2003年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2003090040 DOC编号：DOCCGSJ2003090049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在动态测试领域传感器高过载低量程一直是未能彻底解决的问题。本文在简单论述MEMS传感器原理的基础上，比较了MEMS传感器和传统工艺的压电传感器的特点，并进行了两类传感器在高过载低量程测量中的应用比较，得到了MEMS传感器能够较好完成高过载低量程测量要求的结论。

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