作者：齐虹,李玉玲,王晓光,张岩,寇文兵 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016050040 DOC编号：DOCYBJS2016050049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过对热膜式流量传感器中敏感薄膜电阻制备技术的研究，分别介绍了流量传感器中敏感薄膜电阻设计的基本原理、敏感薄膜生长方法及一些具体应用实例。分析了影响薄膜黏附性和内应力的工艺因素，提高了敏感薄膜电阻的温度系数，制作出了具有良好稳定性和一致性的敏感薄膜电阻，满足流量传感器的使用要求。使流量传感器重复性可达&#177；1%，该制备方法适用于热膜式流量传感器的小批量生产。

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