《临界角传感器在导轨性能评价中的应用》PDF+DOC

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4. 《误差因素对微角度传感器性能的影响》PDF+DOC 叙述了一种基于光学内反射的非接触式角度传感器的设计原理和特点，分析了该角度传感器的关键器件临界角棱镜的参数设计，着重讨论了临界角棱镜的加工误差对系统特性的影响。通过计算和实验发现，通过控制临界角棱镜的入射中心角误差不大于20“，两平行反射表面的一致不平行度误差小于30”，以及反射表面的平面度优于λ/......
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