作者：者文明,崔大付,陈德勇 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2003年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2003030000 DOC编号：DOCYBJS2003030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在微波技术研究中 ，微波功率是表征微波信号特性的一个重要参数。微波功率测量已成为电磁测量的重要部分 ，可应用于很多场合 ，如发射机输出功率 (包括天线系统辐射的功率 )和振荡器输出功率的测量 ，毫瓦计的校准 ，标准信号发生器的校准等。微波功率传感器是微波功率计探头中的核心元件。微梁结构热偶微波功率传感器选择具有低电阻温度系数的Ta2 N和高热电功率塞贝克系数的Si作为热偶材料 ，利用半导体工艺和MEMS工艺制作。器件获得了比薄膜结构更高的灵敏度 ，并且具有动态范围大、零点漂移小等特点 ，此结构已有多种形式。着重从理论上分析了MIS结构对该传感器灵敏度的影响 ，并提出了一种新的结构设计 ，以进一步提高器件性能

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