作者:孔德义,张涛,梅涛,倪林,孙斐,陶永春 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2003年第Z1期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2003Z10890 DOC编号:DOCBDTQ2003Z10899 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《硅微机械二维倾角传感器结构设计》PDF+DOC2007年第03期 单建华,孔德义,林丙涛,汪小华,梅涛,褚家如 《基于ADXL343加速度传感器的倾角测量系统设计》PDF+DOC2015年第01期 严正国,黎伟 《基于倾角的输电线路弧垂对地高度测量方法》PDF+DOC2017年第05期 宋雨潭,赵立英,刘赫,杨莉 《簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计》PDF+DOC1998年第08期 刘理天,谭智敏,刘鸣,温明生,李英慧,姚茂宏 《新型倾角测试仪研究与设计》PDF+DOC1997年第01期 李继文 《ADXL203型双轴加速计在机器人足部感知系统中的应用》PDF+DOC 申海义,吴宝元,任阳,申飞,吴仲城 《基于加速度传感器的倾角测量》PDF+DOC 蒋瑞挺 《倾角自适应超声测高仪的设计》PDF+DOC2015年第06期 吴燕雄,吴凯,孟娟,郭丽丽 《基于温度补偿倾角传感器的双轴稳定平台设计》PDF+DOC2019年第06期 黄新吉 《立井刚性罐道的测斜系统研究》PDF+DOC2006年第10期 马驰,王鹏,刘庆伟,宋杰
  • 提出了一种能抗侧向耦合干扰的微机械硅倾角传感器的敏感结构设计 ,它由两个不同大小的质量块和连接它们的两个相互平行的硅应变梁组成。文中通过推导给出了硅应变梁上所受的应变与倾角及位置的解析关系 ,并计算了在两个不同质量块作用下硅梁上的应力分布 ,最后提出了制作该结构的工艺设计

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