《簧片式硅弹性膜应力分布的计算和加速度传感器的优化设计》PDF+DOC
作者:刘理天,谭智敏,刘鸣,温明生,李英慧,姚茂宏
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》1998年第08期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS808.0000
DOC编号:DOCYBJS808.0009
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为了提高我们已研制成功的新型簧片式硅加速度传感器的性能,用有限元法计算了不同形状和尺寸的质量块在40g值加速度作用下产生的应力分布,使我们优选了最佳的质量块设计方案,显著地提高了灵敏度,取得了与理论计算符合得很好的实验结果。
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