《曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC

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3. 《高冲击压阻式加速度传感器》PDF+DOC 高冲击微机械压阻式加速度传感器是典型的微机械产品，具有体积小、量程大、频带宽、直流响应等特点，在需要高冲击信号测量的场合有重要应用价值。其基本工作原理是以半导体的压阻效应为基础，常用梁岛结构，...
4. 《侧面扩散电阻的微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法.硅微机械加速度传感器采用压阻式双悬臂梁整体式结构.两个结构相同分布方向相反的悬臂梁采用DRIE工艺加工，在每个梁的侧面通过硼扩散形成两个压敏电阻，四个压敏电阻构成惠斯痛全桥连接，在悬臂梁的根部采用DRIE工艺形成电隔离窄沟槽，并淀积......
5. 《微机械加工技术及其在传感器中的应用》PDF+DOC 微机械加工技术是在集成电路技术基础上研发出来的新兴技术，其在人们的生活和工作的不同领域中都发挥了非常重要的作用，因此受到了学术界和社会的普遍推崇与认可。不仅如此，其他发达国家也对微机械加工技术投入了大量的研究资金，由此看出微机械加工技术的确受到了大众的关注与欢迎。本文主要以微机械加工技术在传感器中的......
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