作者：董林玺,焦继伟,陈永,王跃林 单位：浙江大学;中国机械工程学会 出版：《工程设计学报》2003年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGCSJ2003050070 DOC编号：DOCGCSJ2003050079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计并制作了一种可在大气下工作的栅结构电容式微机械加速度传感器，并对其空气滑膜阻尼特性进行了研究.测试结果表明该种结构机械品质因子Q值在大气压下能达到504.这种具有高Q值的栅形电容检测结构可以应用到微机械陀螺的检测模式，它无需真空封装，可以在大气环境下工作，且灵敏度提高.对陀螺原型的测试结构表明，其在大气下检测模态的Q值可以达到715。

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