作者：黄志奇,杜平安,卢凉 单位：中国机械工程学会;天津市机械工程学会;机电工业信息所 出版：《机械设计》2003年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXSJ2003110020 DOC编号：DOCJXSJ2003110029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 概述性地介绍了微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem———MEMS)的定义及其特点。从理论基础、技术基础和应用研究三方面阐述了MEMS的主要研究内容。简要介绍了MEMS的基本加工技术，实际应用情况以及国内外MEMS的研究发展现状。

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