作者:谌贵辉,赵万明,任诚,席建中 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2010年第08期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2010080110 DOC编号:DOCCGQJ2010080119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS固态引信硅微结构的力学分析与设计》PDF+DOC2000年第S1期 金磊,高世桥,李文杰 《MEMS加速度传感器开发及在地球物理勘探中的应用》PDF+DOC2005年第03期 王辉明,宋志翔,马国庆 《基于MEMS的硅微压阻式加速度传感器的设计》PDF+DOC2009年第10期 张建碧 《日本基于MEMS传感器的研究进展》PDF+DOC2004年第01期 焦正,吴明红 《跨世纪的新技术——微机电系统(MEMS)》PDF+DOC1999年第04期 张兴,郝一龙,李志宏,王阳元 《石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化》PDF+DOC2005年第04期 牛德芳,于国良,刘静,孙正鼐 《基于MEMS传感器的虚拟现实参观系统》PDF+DOC2012年第03期 徐迅,刘玉生 《石油勘探MEMS加速度传感器在煤田勘探的应用》PDF+DOC2006年第06期 唐晓刚,颜永安,赵冰,张栋,牛德芳 《MEMS在运动轨迹显示中的应用》PDF+DOC2015年第06期 冯玉光,单珊,奚文骏 《基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器》PDF+DOC2014年第02期 李晓博,赵玉龙,程荣俊
  • 以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。介绍了一种新型的石油勘探MEMS地震检波器的设计及其主要技术参数,并通过微传感器结构的力学性能仿真,得出其具体的结构尺寸。经采用表面工艺和体工艺相结合的方法,利用磁控溅射、光刻、化学蚀刻及等离子体蚀刻等工艺,在高阻硅上制备出检波器样品。

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