作者：热合曼·艾比布力,胡英杰,王同东,赵立波,赵玉龙,蒋庄德 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015050030 DOC编号：DOCYBJS2015050039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《谐振式MEMS温度传感器设计》PDF+DOC2010年第09期 马洪宇,黄庆安,秦明 《用于挥发性有机化合物探测的微悬臂梁传感器(英文)》PDF+DOC2010年第02期 董瑛,高伟,郑义,尤政 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2009年第06期 史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊 《基于MEMS技术的气体传感器》PDF+DOC2008年第11期 李珂,于世洁,尤政,赵嘉昊 《微悬臂梁结构氢气传感器的制作研究》PDF+DOC2006年第01期 邱显涛,陈吉安 《Coriolis质量流量传感器内部耦合振动》PDF+DOC2006年第03期 郑德智,樊尚春 《谐振式液体密度传感器的结构设计》PDF+DOC2006年第03期 陈卫东,樊玉铭,任俊峰,姚伟 《圆筒谐振式液体密度传感器的结构设计》PDF+DOC2006年第08期 陈卫东,樊玉铭,任俊峰,姚伟 《谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装》PDF+DOC2014年第05期 陈德勇,曹明威,王军波,焦海龙,张健 《基于稳态扫频的MEMS谐振压力传感器芯片测试》PDF+DOC2013年第04期 李晓莹,张艳飞,任森,邓进军,苑伟政

    • 文中研究了谐振方法测量流体黏度的测量机理，采用MEMS工艺设计并加工了微悬臂梁结构的流体黏度传感器芯片，芯片作为振动体采用电磁激励和压阻检测的方法进行粘度测量。设计了封装结构并搭建了实验系统，在室温环境20℃和25℃2个温度点下进行了4种有机流体的黏度测量。实验结果表明，微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器具有响应速度快、微型化程度高、易于实现在线流体测量等特点，黏度的测量精度优于8%，较好地满足了流体黏度的工程测量需求。

    📙 相关资料

    1. 《谐振式MEMS温度传感器设计》PDF+DOC 为了实现以频率输出为信号的气象温度测量，提出了一种基于双层悬臂梁的谐振式微温度传感器。基于双悬臂梁不同材料热膨胀系数的差异会导致悬臂梁谐振频率偏移的原理，采用压电方式同时实现悬臂梁的驱动及其谐振频率的检测，从而实现温度的测量。根据硅基传感器的正面腐蚀工艺，设计了谐振悬臂梁的双层结构，采用有限元方法分......
    2. 《用于挥发性有机化合物探测的微悬臂梁传感器(英文)》PDF+DOC 在研制成功的用于化学气体探测的热驱动微悬臂梁谐振器的基础上，提出了基于这种微悬臂梁谐振器，并以聚合物涂层作为挥发性有机化合物吸附敏感层的谐振式气体传感器.利用3种聚合物材料：聚氧化乙烯(PEO)、聚乙烯醇(PVA)和聚乙二醇乙醚醋酸酯(PEVA)，在微悬臂梁谐振器上制备气体敏感层，探测6种挥发性有机......
    3. 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片，从而实现了谐振器与压力膜的一体化，避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力，并且工艺简单易于实现。文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYSSimulation)优化，工......
    4. 《基于MEMS技术的气体传感器》PDF+DOC 综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理，包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各种传感器的特点进行了比较。...
    5. 《微悬臂梁结构氢气传感器的制作研究》PDF+DOC 提出了一种基于微悬臂梁结构的布拉格光栅氢气传感器，阐述了该类型传感器的工作原理及制作工艺流程，并利用MEMS技术制作了传感器样品，同时在-60℃~90℃、氢气浓度为0.5%~10%范围内对该传感器样品进行了测试。结果表明，在环境温度为25℃、氢气浓度为4%的情况下，当测试时间为30 min时，反射波......
    6. 《Coriolis质量流量传感器内部耦合振动》PDF+DOC 谐振式科里奥利质量流量计(CMF)，依靠测量管路工作在谐振状态产生的科氏力效应实现流体流量的测量.实际的谐振式科里奥利质量流量计工作过程中，普遍存在传感器的外部和内部耦合振动现象，直接影响流量计的稳定性和测量精度.对传感器的外部耦合振动问题，通过增加测量管路直管段、增强传感器固定刚度等措施已得到较好......
    7. 《谐振式液体密度传感器的结构设计》PDF+DOC 本文分析了圆筒谐振式液体密度传感器结构设计的关键问题，提出了一种新的圆筒谐振式液体密度传感器振动筒的设计方法。实验结果表明，该传感器的测量精度有了很大提高，具有一定的实用性。...
    8. 《圆筒谐振式液体密度传感器的结构设计》PDF+DOC 简要介绍了圆筒谐振式液体密度传感器的测量原理与系统结构，分析了在结构设计上应该特别注意的几个问题，提出了一种新的圆筒谐振式液体密度传感器的振动筒设计方法。试验数据表明，该传感器的测量精度有了很大提高，具有很高的现实意义和使用价值。...
    9. 《谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装》PDF+DOC 为了提高传感器的品质因数，有效保护谐振器，提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术(DRIE)，分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底层上制作H型谐振梁与压力敏感膜；然后，通过氢氟酸缓冲液腐蚀S......
    10. 《基于稳态扫频的MEMS谐振压力传感器芯片测试》PDF+DOC 针对硅微谐振式压力传感器开环测试的需求，提出了一种基于稳态扫频的硅微谐振式压力传感器芯片测试方法，实现了高精度扫频激励信号电路与高分辨率检测电路的设计。此设计将单片机技术与直接数字频率合成技术的优点相结合，实现了范围为1 kHz～1 MHz精确扫频，其最小扫频步距为1 Hz。通过算法补偿有效减小了扫......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。