作者：刘伟 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2002年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2002020110 DOC编号：DOCGXJM2002020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子设备 (激光调阻机 )中的运动控制系统是该设备的重要部分 ，它决定了设备的生产质量和生产效率。其特点是 ：高精度、高速度、高效率、高可靠性。尤其是硬件发生故障或人工非法操作时 ，系统的自监控、自诊断显得特别重要。介绍采用多任务实时控制器 6K6 (美国PARKER) ，按照事件驱动响应方式设计控制直线伺服电机、交流伺服电机、步进电机的速度和定位精度 ；并通过输出接口模块对气动元件的电磁阀进行开关量控制使机械手运行自如 ；通过输入接口模块对多种传感器 (光纤传感器、对射式光电传感器、反射式光电传感器、接近式传感器、磁感应传感器。)进行监测等。使运动系统具有更高的可靠性、高精度和超高速 ，实现了产品的自动输送及完成生产过程中的各种相对运动。降低了产品的生产成本 ，提高设备效率 ，增强竞争能力 ，为实现现代化大规模生产提供了有力保障 ，填补了国内空白

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