作者:王军波,龚黎明,陈德勇,何文涛,王鹏,陈健 单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版:《光学精密工程》2015年第03期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJM2015030220 DOC编号:DOCGXJM2015030229 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于微机电系统技术的微电化学地震传感器》PDF+DOC2015年第04期 Deyong Chen,Guangbei Li,Junbo Wang,Jian Chen,Wentao He,Yunjie Fan,Tao Deng,Peng Wang,孙宏志,安容蒂,卢山,赵龙梅 《MEMS器件及其在生物医学上的应用》PDF+DOC2011年第08期 杨永生 《IEEE标协出台首套MEMS标准规范传感器行业》PDF+DOC2014年第10期 《MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究》PDF+DOC2006年第05期 郭琳瑞,陈烽,叶雄英,刘力涛,伍康,周兆英 《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC2004年第03期 鄢云 《MEMS传感器随机误差分析》PDF+DOC2012年第03期 于丽杰,高宗余 《MEMS传感器技术在汽车上的应用研究与展望》PDF+DOC2010年第09期 黄军辉,杨旭志,陈述官,廖中文 《静电纺丝纳米纤维在传感器与MEMS中的应用》PDF+DOC2009年第06期 李文望,孙道恒 《微机电系统(MEMS)封装技术及产品》PDF+DOC2009年第04期 《基于MEMS和A蛋白自组装膜抗体定向固定技术的安培型免疫传感器》PDF+DOC2006年第02期 许媛媛,边超,陈绍凤,夏善红
  • 针对传统电化学地震传感器的加工工艺成本高、一致性差等问题,设计了一种新的平面电极型微机电系统(MEMS)电化学地震传感器结构。建立了平面电极型MEMS电化学地震传感器的计算模型,通过Comsol多场耦合数值模拟分析方法,对影响传感器的结构参数如:电极宽度、电极间距、流道高度等进行了计算和优化。采用MEMS表面工艺和准LIGA工艺,制备了平面电极型MEMS电化学地震传感器。最后,与采用传统方法精密加工的MET2003器件进行了频率响应和微震动的对比测试。实验结果表明:与MET2003器件相比,平面电极型MEMS电化学地震传感器的带宽从1Hz扩展到了30Hz,两种器件的采集结果具有很好的相关性和一致性,相关系数为0.887,在1Hz处的噪声低于120dB。

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