作者:赵育良,李开端,许兆林,张忠民 单位:中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版:《光学技术》2002年第03期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXJS2002030030 DOC编号:DOCGXJS2002030039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 提出了一种新型的基于线阵CCD的全息光栅位移传感器 ,该系统利用线阵CCD分辨率高、像素均匀等特点 ,对干涉条纹的移动进行精确定位 ,全息光栅在测量过程中具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点 ,实现了位移的自动精确测量。给出了系统误差分析及结果数据 ,经实验 ,系统稳定可靠 ,精度高。

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